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MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。它具有体积小、质量轻、成本低、功耗低、可靠性高、技术附加值高，适于批量化生产、易于集成和实现智能化等特点。
MEMS传感器通常被分为以下7类
1、压力传感器：绝对压力传感器和计量压力的传感器。
2、热学传感器：温度和热量传感器。
3、力学传感器：力、压强、速度和加速度传感器。
4、化学传感器：化学浓度、化学成分和反应率传感器。
5、磁学传感器：磁场强度、磁通密度和磁化强度传感器。
6、辐射传感器：电磁波强度传感器。
7、电学传感器：电压、电流和电荷传感器。
除了上面几种典型MEMS传感器外，还有许许多多的MEMS传感器，如用于微观判断的MEMS触觉传感器、MEMS生物传感器、MEMS图像传感器等。在不同环境中，MEMS传感器的技术应用也是不同的。
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